图书介绍

硅微机械传感器技术【2025|PDF|Epub|mobi|kindle电子书版本百度云盘下载】

郑志霞著著
出版社：杭州：浙江大学出版社
ISBN：9787308108799
出版时间：2012
标注页数：199页
文件大小：42MB
文件页数：208页
主题词：传感器

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图书目录

1 MEMS和MEMS传感器1

1.1微电子机械系统（MEMS）1

1.2微机械传感器研究的现状与发展方向6

本章参考文献10

2硅的基本特性12

2.1硅晶体结构13

2.2硅的电学性质16

2.3硅的光学、热学性质19

2.4硅的机械性质19

2.5硅的化学性质21

本章参考文献21

3硅片清洗与光刻工艺23

3.1硅片的清洗23

3.2光刻工艺25

本章参考文献34

4薄膜淀积35

4.1薄膜淀积35

4.2二氧化硅薄膜的制备方法41

4.3氮化硅薄膜的制备方法43

本章参考文献44

5硅刻蚀工艺46

5.1刻蚀参数46

5.2湿法刻蚀技术48

5.3干法刻蚀技术50

本章参考文献53

6杂质掺杂55

6.1扩散55

6.2离子注入65

6.3扩散和离子注入的优缺点69

本章参考文献70

7圆片键合技术71

7.1金硅共熔键合71

7.2硅-硅直接键合72

7.3硅/玻璃静电键合75

本章参考文献76

8微机械结构78

8.1微梁结构78

8.2膜片与薄膜83

本章参考文献85

9微机械传感原理87

9.1金属应变片87

9.2半导体应变片88

9.3半导体应变片种类和结构90

9.4半导体应变片形变与阻值的转换92

9.5电容式传感器93

本章参考文献95

10 MEMS压力传感器96

10.1压阻式压力传感器97

10.2电容式压力传感器105

10.3谐振式微机械压力传感器111

本章参考文献117

11加速度传感器119

11.1硅微加速度传感器119

11.2电容式微加速度传感器125

本章参考文献128

12微机械角速度传感器——微机械陀螺仪130

12.1科里奥利效应131

12.2动力学原理132

12.3微机械陀螺仪的驱动方式135

12.4音叉式角速度传感器137

12.5硅微振动角速度传感器139

本章参考文献143

13流体传感器144

13.1流体动力学144

13.2流体流量传感器149

13.3微机械风速计158

13.4其他流体传感器165

本章参考文献168

14信号处理电路170

14.1压阻式传感器信号处理电路170

14.2电容式传感器信号处理电路176

本章参考文献181

15 MEMS传感器封装183

15.1 MEMS传感器封装面临的挑战183

15.2 MEMS传感器封装技术184

15.3适用于硅传感器的封装形式186

15.4封装应力188

15.5压力传感器封装189

15.6惯性传感器封装190

15.7热流体传感器封装190

本章参考文献191

附录英汉常用词对照表192